超纯水工艺：最初是复床加混床--阳+阴+混。后来是：RO+混。对于不同要求的有：RO+EDI。RO+混+抛光。

电子级超纯水中国国家标准（GB/T11446.1-1997）




项目
级别 比电阻 MΩ.cm@25℃ 硅 ≤ μg/L >1μm微粒数 < 个/ml 细菌个数< 个/ml 铜≤μg/L 锌≤μg/L 镍≤μg/L 钠≤μg/L 钾 ≤ g/L 氧≤ μg/L 硝酸根≤
μg/L 磷酸根≤
μg/L 硫酸根 ≤μg/L 总有机碳≤μg/L
EW-Ⅰ 18（95%的时间不低于17） 2 0.1 0.001 0.2 0.2 0.1 0.5 0.5 1 1 1 1 20
EW-Ⅱ 15（95%的时间不低于13） 10 5 0.1 1 1 1 2 2 1 1 1 1 100


中国电子行业超纯水国家标准(GB/T11446.1-1997 )

(GB/T11446.1-1997 )

指 标 名 称 一 级 水（EW-1） 二 级 水（EW-2）
　 电阻率MΩ.CM. （25℃） 18(95‰时间)不低于17 15(95‰时间)不低于13
　　 硅≤μg/L 2 10
　 ＞1μm　微粒数 0.1 5
　 细菌个数≤/ml 0.01 0.1
　　 铜　≤μg/L 0.2 1
　　 锌　≤μg/L 0.2 1
　　 镍≤μg/L 0.1 1
　　 钠≤μg/L 0.5 2
　　 钾　≤μg/L 0.5 2
　　 氯≤μg/L 1 1
　 硝酸根≤μg/L 1 1
　 磷酸根≤μg/L 1 1
　 硫酸根≤μg/L 1 1
　 总有机碳≤μg/L 20 100