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紧凑结构、小型化、防尘效果好
批量检测平面光学元件表面面型测量。
测量口径:Φ60mm
测量方式:菲索干涉原理
光源:半导体激光器(635nm)
对准方式:简单两点对准
标准参照镜面形精度:p-v:λ/20
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