高真空磁控溅射仪（手套箱内用）

技术参数:
真空泵-------------------. (泵油)旋转真空泵+ (免油) 涡轮分子泵组
旋转真空泵转速--------------- 50 Hz: 16m³/h (4.4L/s) / 60 Hz: 19.2m³/h (5.2 L/s)
分子泵转速--
300 L/S
真空度.----------------. 5x 10的负五次方Pa
工作压..-----------------.0.5～5 Pa
抽真空时间------------------> 10 Min (10的负3次 Pa)
真空测量-------------------测量范围从大气压到10的负5次Pa
气体控制
气体流量控制阀
----- φ260*200mm (高)金属
磁控靶.------------------靶尺寸φ 50*3mm (Cu) /溅射靶源:弱磁性物质/材料
操作方法-------------------.操作手册
重量/------------------ 100kg / 610mm长x 420mm宽x 490mm高
工作源-------------------. AC 220V 50Hz
冷却方式.------------------风冷(泵) +水冷(溅射靶)