溅射蒸碳仪

原理：
溅射功能依据二极(DC)直流溅射原理。溅射电流调整控制器、微型真空气阀在工作时结
合内部自动控制电路控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体。根据电场中
气体电离特性，采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层均匀纯|净。
热蒸发功是能通过对碳纤维绳加热使其蒸发气化而沉积与基体或工件表面并形成薄膜
或涂层的工艺。
参数：
 仪器尺寸 ：305mm×400mm×390mm（W×D×H）
 真空样品室： 硼硅酸盐玻璃 160mm×110mm（D×H）
 靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H）
 溅射靶材：Au
 溅射靶材大小：φ 50mm
 样品台：50mm (D)
 溅射工作电压：0-1600V (DC)可调
 溅射电流：0-50mA
 溅射定时：0-360S
 蒸碳电流 0-100A(AC)
 蒸发材料：碳纤维
 蒸发工作电压：0-30V
 蒸发时间：0-1S
 微型真空气阀：可连接φ 3mm 软管
 可通入气体： 多种
 真空泵： 2 升机械旋转泵（国产 VRD-8）
用途：
适用于电镜实验室的扫描电子显微镜（SEM）样品制备，非导体材料实验电极制作。
特点：
1、简单、。
2、可调节溅射电流和真空室压强以控制镀膜的速率和颗粒的大小。
4、真空保护可避免真空过低造成设备短路。
5、同时可以通过换不同的靶材（金、铂、铱、银、铜等），以达到geng细颗粒的涂层。
6、通过通入不同的惰性气体以达到纯净的涂层。
7、数字计时器定时方便。
8、计时器可随时停止，观察样品涂层，并可继续工作。
9、可调节样品台，适用于多种样品。
10、一体机。
11、碳纤维绳细腻均匀、快速，有利于分析材料结构。
12、溅射蒸发功能一键切换，蒸碳附件安装方便快|捷。