离子溅射仪型号:M31/SD-900库号：M377516 技术参数 旋转真空泵转速--------------50Hz:8m3/h(2.2L/s)/60Hz:9.6m*/h(2.6L/s) JI限真空度-------------------2Pa 溅射电流-----------------≤0~20mA 工作压--------------------30Pa-7Pa 抽真空时间----
离子溅射仪型号:M31/SD-900库号：M377516
技术参数
旋转真空泵转速--------------50Hz:8m3/h(2.2L/s)/60Hz:9.6m*/h(2.6L/s)
JI限真空度-------------------2Pa
溅射电流-----------------≤0~20mA
工作压--------------------30Pa-7Pa
抽真空时间------------------<5Min(2Pa)
真空测量-------------------测量范围从大气压到2x10的负2次方mbar
腔体尺寸--------------------φ150*120mm(高)抗刮石英玻璃
磁控靶源-----------------.靶尺寸φ50*0.1mm(金)/溅射靶源:金、银、铂
操作方---------------------操作手册
重量/尺寸------------------.45kg/360mm长x300mm宽x380mm高
工作电源.------------------.AC220V50Hz
电源功率--------------------<1500W
冷却方式---_----------------风冷
