小型磁控溅射仪型号HS580-JS-1600M库号M415510 小型磁控溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的，简单、经济的镀膜设备。适用于电镜实验室的扫描电子显微镜（SEM）样品制备，非导体材料实验电极制作。 配置及技术指标： 1.本系统装配了水冷却磁控靶，靶面直径为50mm，冷却水接口：6*4mm快速插头 2.主机规格：L360mm*W300mm*H380mm 3.靶（上部
小型磁控溅射仪型号HS580-JS-1600M库号M415510
小型磁控溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的，简单、经济的镀膜设备。适用于电镜实验室的扫描电子显微镜（SEM）样品制备，非导体材料实验电极制作。
配置及技术指标：
1.本系统装配了水冷却磁控靶，靶面直径为50mm，冷却水接口：6*4mm快速插头
2.主机规格：L360mm*W300mm*H380mm
3.靶（上部电极）：金：直径：50mm，厚度：0.1mm
4.真空样品室：直径：150mm，高：135mm
5.溅射面积：Ф50mm
6.真空指示表：MAX真空度：≤4X10-2mbar
7.离子电流表：MAX电流：100mA
8.定时器：根据实际需要设定
9.微型真空气阀：可连接φ4*2.5mm软管
10.可通入气体：多种
11.MAX电压：-1600DCV
12.机械泵：1.1L/S
产品特点：
1.轻便、溅射面积大。
2.可以溅射铂、金、银、铜、氧化锌、ITO等。
3.溅射效率高，溅射靶头可水冷降温。
