技术参数:真空泵-------------------. (泵油)旋转真空泵+ (免油) 涡轮分子泵组旋转真空泵转速--------------- 50 Hz: 16m³/h (4.4L/s) / 60 Hz: 19.2m³/h (5.2 L/s)分子泵转速--300 L/S真空度.----------------. 5x 10的负五次方Pa工作压..-----------------.0.5～5 Pa抽真空时间------------------> 10 Min (10的负3次 Pa)真空测量-------------------测量范围从大气压到10的负5次Pa气体控制气体流量控制阀----- φ260*200mm (高)金属磁控靶.------------------靶尺寸φ 50*3mm (Cu) /溅射靶源:弱磁性物质/材料操作方法-------------------.操作手册重量/------------------ 100kg / 610mm长x 420mm宽x 490mm高工作源-------------------. AC 220V 50Hz冷却方式.------------------风冷(泵) +水冷(溅射靶)