技术参数及要求：变频调速基片尺寸：Φ100-Φ200mm（4 英寸～8 英寸）转速：500-5000 转/分转速稳定性：±1%旋涂均匀性：±5％旋涂工艺阶段：2 段旋涂时间：Ⅰ速 0~18S；Ⅱ速 0~60S整机尺寸（长宽高）：425 mm×500 mm×300 mm裸机尺寸（长宽高）：425mm×500mm×190mm电机功率：180W适应材料：硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料